Die Welt der Chips: Wer gibt hier die Kommandos?

ASML mit Sitz in Veldhoven (Niederlande) kontrolliert rund 99 % des Marktes für Extrem-Ultraviolett-Lithografie (EUV), die zur Herstellung der fortschrittlichsten Chips eingesetzt wird. Nur drei Unternehmen weltweit —TSMC, Samsung und Intel— können diese Maschinen kaufen und nutzen.

Das Unternehmen, das niemand kennt und von dem alle abhängen, heißt **ASML**. Es hat seinen Sitz in **Veldhoven**, einem niederländischen Ort, der es nie auf die Schlagzeilen schafft, und kontrolliert rund **99 %** des Marktes für Extrem-Ultraviolett-Lithografie-Maschinen. Das heißt: Fast jeder High-End-Chip der Welt geht durch seine Hände.

Das Unternehmen stellt keine Chips her. Es stellt die Maschinen her, die Chips herstellen. Und das sind keine gewöhnlichen Maschinen: Jede kostet rund **350 Millionen Dollar**, wiegt so viel wie ein Gebäude und enthält Technik von **800 verschiedenen Lieferanten**. Nur **TSMC**, **Samsung** und **Intel** haben das technische Können und das Geld, sie zu kaufen und in Produktion zu bringen.

## Was eine EUV-Lithografiemaschine genau macht

Die Extrem-Ultraviolett-Lithografie nutzt Licht mit extrem kurzer Wellenlänge, um Schaltkreise von der Größe weniger Atome auf das Silizium-Wafer zu „zeichnen“. Sie ist der kritischste Schritt in der Herstellung fortschrittlicher Chips. Ohne diese Maschine gibt es keinen 2-Nanometer-Chip.

Das Problem: Niemand sonst weiß, wie man sie baut. Es ist keine Frage von Patenten oder Preis: Die Ingenieurskunst, die nötig ist, damit ein EUV-Lichtstrahl stabil in einer Industriemaschine funktioniert, lässt sich nicht improvisieren. Jahre der Forschung, Milliarden investiert und eine Lieferkette, die an das Unmögliche grenzt.

## Die Karte, die Washington nach Belieben ausspielt

ASML ist europäisch, aber das Licht, das seine Maschinen nutzen, kommt aus den **USA**. Das bedeutet: **Washington** hat das letzte Wort darüber, an wen die Technologie verkauft wird. Das ist kein Detail: China hat keinen Zugang zu diesen Maschinen und wird ihn beim aktuellen Entwicklungstempo jahrzehntelang nicht haben. Die Kontrolle über die EUV-Lithografie ist zu einem außenpolitischen Instrument geworden, das so wirksam ist wie jeder Zoll.

## Japan setzt seine Figur – mit Stempeln statt Licht

Gegen dieses Monopol hat Japan eine andere Technologie entwickelt: Nanoimprint-Lithografie (**NIL**). Statt mit Licht zu zeichnen, druckt sie das Muster wie mit einem Gummi-Stempel auf den Wafer. **Canon** und **Dai Nippon Printing** treiben diesen Weg voran, der bereits Formen mit **10 Nanometern** erreicht hat und Chips auf dem Niveau von **1,4 nm** mit **90 % weniger Energie** verspricht – ganz ohne die **300-Millionen-Dollar**-Maschinen von ASML.

Das klingt rustikal, funktioniert aber. NIL wird bereits für Speicher und Spezialchips eingesetzt. Wo es noch nicht reicht, ist die fortschrittlichste Logik, die **2-nm**-Chips, um die alle kämpfen. Dort kauft Japan weiterhin Maschinen bei ASML.

## Das Rennen ist nicht vorbei

Die Frage ist, ob das NIL eines Tages fortschrittliche Logikchips herstellen kann, ohne Präzision einzubüßen. Gelingt das, sind die Tage des niederländischen Monopols gezählt. Wenn nicht, bleibt ASML der Einzige im Viertel mit dem Schlüssel zur Werkstatt.

Das Rennen läuft: Niederlande gegen Japan. Wer stellt kleinere und billigere Chips her, ohne Präzision zu opfern? Im Moment liegt der Vorteil noch bei den Niederländern.